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自1999年A100L發(fā)布的日期以來，在半導(dǎo)體工業(yè)中，干泵一體化的概念已經(jīng)成為一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)。今天，在世界范圍內(nèi)，A100L被安裝在300mm數(shù)量級(jí)的半導(dǎo)體器件上，為關(guān)鍵的行業(yè)提供公認(rèn)的利益。

特點(diǎn)：

• 直接集成到硅片加工設(shè)備： 
  消除foreline ＆顯著減少設(shè)施和連接費(fèi)用

• 使用時(shí)100m³/h 的抽水速度： 
  可以取代多達(dá)500m³/h 的精細(xì)水泵以增加吞吐量

• 安靜和清潔： 
  專為無塵操作設(shè)計(jì)

• 能源效率： 
  降低晶圓廠能源消耗

• 可靠：
  adixen實(shí)地證明的復(fù)合羅茨技術(shù)
  世界范圍內(nèi)最大的安裝基地 

應(yīng)用：

• 負(fù)載鎖

• 轉(zhuǎn)換腔

• 物理氣相沉積

• 掃描電鏡

• 預(yù)清洗腔

• 退火腔